Piastra di posizionamento lineare LA80 series

a motore1 assecon vite a sfere

Stadio lineare ad alta velocità HV / UHV / EUV, corsa 200 -500 mm, ripetibilità 0,4 µm, carico 5 kg - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar - Liquido lubrificante fino a 10E-8 / secco fino a 10E-11 mbar - Durata nel range di chilometri nonostante la lubrificazione a secco - Max. Temperatura di cottura: 120°C - Disponibile come versione magnetica Configurabile opzionalmente: - A scelta con e senza sistema di misura - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Combinabile con un sistema di trasferimento rapido XYZ (ad es. LA90, LA95, LA170) - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Versioni per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Opzionale con il controllore FMC400/450 Lunga durata nonostante il funzionamento a secco Questo asse lineare è utilizzato come componente potente per i sistemi multiasse e per i sistemi di trasferimento altamente dinamici. Consente un posizionamento rapido con una risoluzione estremamente elevata nel vuoto spinto, anche in direzione verticale. Una vite a ricircolo di sfere assicura un'elevata rigidità e stabilità di arresto ad alta velocità. Il sistema non richiede lubrificanti liquidi e offre una durata di molti chilometri. Campi di applicazione Sistemi di trasferimento ad alta precisione nel vuoto spinto con radiazioni ultraviolette estreme, fabbricazione di semiconduttori, modellazione del fascio per processi di esposizione, analisi delle superfici e posizionamento di sensori, spettrometria di massa, processi di rivestimento OLED, misurazione dello spessore dello strato e della velocità dello strato, rivestimento superficiale (sputtering, deposizione di vapore), uscite del fascio, setup sperimentali, array di sensori per indagini su campioni vicini al loro stato nativo