Piastra di posizionamento di alta precisione HT160 series

verticalea motorevuoto-compatibile

- Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar - Liquido lubrificante fino a 10E-8 / secco fino a 10E-11 mbar - Temperatura max. Temperatura di cottura: 120°C - Disponibile come versione magnetica - Camera bianca di classe 4 secondo ISO 14644-1 Configurabile opzionalmente: - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Opzionale con controllore FMC400/450 Stadio di sollevamento preciso per carichi elevati Lo stadio di sollevamento è adatto a movimenti verticali di alta precisione in condizioni estreme, come nel vuoto spinto e nell'ultravuoto. Grazie al principio "lift-wedge", raggiunge i suoi parametri nonostante l'altezza complessiva ridotta. La combinazione di motoriduttori e di una precisa vite a ricircolo di sfere, con vite di comando opzionale, consente di ottenere passi minimi con carichi relativamente elevati. Aree di applicazione Posizionamento di precisione nell'industria e nella ricerca nel vuoto spinto e in presenza di radiazioni ultraviolette estreme, allineamento di wafer, allineamento di telecamere, ricerca sui materiali, analisi dei materiali, microscopia nel vuoto, linea di fascio, acceleratore, sincrotrone