L'analizzatore del multi-gas, prodotto da MKS Intruments, è usato particolarmente per gas trattato. Il dispositivo usa una trasformata di fourier infrarossa (FTIR) e un infrared nondispersive (NDIR). Il dispositivo è inoltre capace di ppb alla sensibilità di PPM per i gas quali NF3, NH3, H2, NO e N2O. Può anche essere usato sui gas con acqua di 30%.
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