Analizzatore d'aria Process Sense™

elementareda integrareNDIR

Il Sense? trattato è adatto a determinare il completamento della pulizia dell'alloggiamento del plasma, nel semiconduttore e negli alloggiamenti di deposito. L'analizzatore di pressione minimizza l'erosione dell'alloggiamento, dovuto overcleaning. Di conseguenza, il servizio di vita dell'alloggiamento è esteso. Il dispositivo è progettato da un assorbimento dell'infrarosso, che è efficiente per tutte le operazioni di pulizia del plasma. È offerto nei corredi di aggiornamento completi, per gli attrezzi di CVD di AMAT. Può essere utilizzato nelle applicazioni differenti che coinvolgono gli ossidi del silicone, i nitruri di silicio, polysilicon ed in silano o nei processi di TEOS.