L'alternativa ad alta resistenza, altamente affidabile
ai filtri ai fluoropolimeri.
FiltriMott fornisce l'alta resistenza, soluzione interamente metallica ai requisiti di filtrazione per le linee di utilità all'interno del wafer fab, così come i flussi di flusso al gas pad. A differenza dei filtri a base di teflon utilizzati storicamente per queste applicazioni, i filtri Mott's Utility Line e Bulk Filters non sono soggetti a guasti causati da alte temperature e picchi di pressione. I filtri per gas alla rinfusa Mott GasShield® sono garantiti per 15 anni dalla data di acquisto.
Il mezzo di filtrazione ottimale
I filtri Mott sono costruiti con un materiale poroso brevettato al nichel sinterizzato che offre caratteristiche di filtrazione insuperabili. Il fluido non è soggetto a rotture dovute a variazioni di pressione e di flusso, ed è ideale per le temperature più elevate che si possono incontrare a valle di un depuratore durante il riscaldamento a secco di un sistema di alimentazione del gas. Come tutti i filtri Mott High Purity, la linea di utilità e i filtri bulk forniscono una filtrazione a 9 log di particelle fino a 0,003 µm. Inoltre, le prestazioni del filtro in funzione della pressione differenziale o della portata del filtro sono uguali o superiori alle prestazioni dei prodotti Teflon® della concorrenza sul mercato attuale.
9 valore di riduzione log.
Maggiore del 99,999999999% di rimozione di tutte le particelle fino a 0,003µm; confermato alla dimensione delle particelle più penetranti di 0,08µm.
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