Sistema di ispezione a fotoluminescenza Vertex™

automaticoper reattore epitassialeper wafer

Il sistema Vertex mette sotto controllo il processo di misura del PL in modo che il vostro processo epitassiale rimanga saldamente sotto controllo. Panoramica del prodotto L'ultimo nato della famiglia degli RPM standard del settore, il sistema Vertex prende un grande concetto e lo porta alla sua conclusione definitiva. Utilizzando un nuovo profilatore di raggio a bordo, il sistema Vertex controlla la densità di potenza monitorando costantemente sia la potenza del laser che le dimensioni del punto focale. Ciò consente all'utente di regolare la densità di potenza ad un valore fisso eliminando tutte le fonti di variazione tra gli utensili, consentendo un buon abbinamento degli utensili in un ambiente di produzione. Inoltre, il controllo della densità di potenza aiuta il sistema Vertex a fornire misurazioni di dati altamente accurate e ripetibili.