Grazie alla sua esclusiva tecnologia di progettazione ottica, il sistema Imperia rileva e classifica i difetti che uccidono la resa, con l'ulteriore vantaggio di un monitoraggio simultaneo della produzione in fotoluminescenza (PL) all'avanguardia
Panoramica del prodotto
Grazie all'esclusiva tecnologia di progettazione ottica, il sistema Imperia rileva e classifica i difetti che uccidono la resa, con l'ulteriore vantaggio di un monitoraggio simultaneo della produzione in fotoluminescenza (PL) all'avanguardia. La combinazione di queste due funzioni di screening metrologico post-epitassiale in un unico sistema ad alta produttività riduce al minimo l'utilizzo di spazio prezioso in fabbrica e il tempo di gestione delle cassette. Questo prodotto può fornire all'utente significativi risparmi economici (ad esempio, prevedendo con precisione la resa del reattore MOCVD e i programmi PM)
- Mappatura PL spettrale ad alta densità
- Analisi e classificazione dei difetti
- Imaging dello spessore dello strato epitassiale e della riflettività normalizzata ad alta risoluzione
- Profilazione della forma del wafer e ricostruzione dell'arco 3D
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