Macchina di misura di spessore fissa ECV Pro™

di filmsenza contattocon calibrazione automatica

Il sistema ECV Pro è stato progettato, da zero, per eliminare tutte le variazioni dei dati dipendenti dall'operatore. Panoramica del prodotto Il sistema ECV Pro è lo standard industriale per la misurazione dei profili di concentrazione del vettore attivo negli strati di semiconduttori. L'elettronica digitale di nuova concezione del sistema elimina la deriva e migliora significativamente il rapporto segnale/rumore. Il design unico del sistema ECV Pro elimina tutte le variazioni dei dati dipendenti dall'operatore. Presentazione della prima telecamera in situ, ECVision, che consente all'utente di visualizzare le interfacce semiconduttore/elettrolita. Fornisce anche una nuova visione della rimozione della pellicola o della rivelazione del difetto durante il processo di incisione. Il software di sistema ECV Pro è costruito sulla base delle linee guida standard del settore SEMI E-95. Questo software supporta la profilatura automatica ed è programmato per generare grafici di controllo di processo.