Regolatore di pressione di gas SMSQ2Micro series

a diaframmamonostadioin ottone

Le serie SMSQ2Micro e SMSQ2Micro130E rappresentano i regolatori di pressione UHP miniaturizzati più avanzati presenti sul mercato. Queste serie garantiscono un controllo della pressione estremamente preciso e affidabile, che migliora le prestazioni dei MFC (regolatori di flusso massico), fondamentali per la ripetibilità e la resa nella produzione di semiconduttori. Inoltre, offrono un’eccellente tenuta contro le perdite e una bassa generazione di particelle, entrambe caratteristiche essenziali per le applicazioni nel settore dei semiconduttori. I regolatori sono adatti all’uso sia con gas inerti che corrosivi e garantiscono una risposta straordinaria alle variazioni a gradino della portata richiesta. La serie utilizza un esclusivo design a membrana legata autocentrante che assicura una tenuta affidabile della sede e una regolazione precisa della pressione. La generazione e il intrappolamento di particelle sono ridotti al minimo grazie all’eliminazione della molla dell’otturatore e delle filettature di ritenzione della sede, il che migliora ulteriormente la pulizia del processo e le prestazioni di spurgo. I componenti a contatto con il fluido della serie SMSQ2Micro sono realizzati con metalli speciali per garantire un’eccezionale resistenza alla corrosione, tenuta contro le perdite e la massima durata di ciclo a pressioni di ingresso fino a 250 psig. Il corpo è elettrolucidato internamente e realizzato in acciaio inossidabile Vericlean™ 316L, di proprietà di Parker Veriflo, che supera i requisiti del materiale Semi F20; ogni membrana e ogni otturatore sono realizzati in Hastelloy C-22®, mentre ogni sede è disponibile in PCTFE o Vespel®. Sia l’SMSQ2Micro che l’SMSQ2Micro130E presentano un ingombro ridotto per il montaggio superficiale, conforme alle specifiche SEMI Modular Interface, e sono disponibili sia nella configurazione con tenuta a C che con tenuta a W.