Spettrometro ottico AirSentry® II AMC

di mobilità ionicadi processodi monitoraggio

Spettrometria di mobilità ionica per punto d’uso AirSentry® II La linea di spettrometri di mobilità ionica AirSentry II rileva e avverte gli utenti della presenza di piccole concentrazioni o variazioni nei livelli aerodispersi di cloruri, acidi, ammine e specie contenenti ammoniaca. Con una sensibilità a livello di parti per trilione (ppt), questi sensori per punti d’uso forniscono una risposta rapida, una migliore selettività di rilevamento e prestazioni ripetibili. L’abbinamento di sensori Air Sentry II a una piattaforma software centralizzata consente una facile acquisizione e analisi dei dati. La linea di sensori AirSentry II fornisce dati continui attuabili, per una risposta efficiente alle sorgenti e agli eventi di contaminazione.. Rilevamento ad alta sensibilità di acidi e alcali (ammine, ammoniaca e cloruri) Configurazione versatile dei prodotti per applicazioni per punto d’uso, multipunto e monitoraggio mobile Dimensioni compatte che semplificano la ricollocazione Uscite Ethernet, RS-232, 4-20 mA Monitoraggio AMC continuo di posizioni critiche Acquisizione, gestione e analisi dei dati solide e affidabili Stabilità dei dati a lungo termine Costo per test ridotto Monitoraggio in tempo reale della corrosione nelle posizioni di processo sottoposte ad attacco chimico Monitoraggio in tempo reale di ammine e ammoniaca all’interno di sistemi di litografia critici Quantificazione dell’efficienza dei filtri chimici Monitoraggio e risoluzione dei problemi di sorgenti di contaminazione in tutta la camera bianca e gli strumenti di processo Analisi della contaminazione nei moduli di conservazione dei wafer del FOUP