Spettrometro di mobilità ionica AMC AirSentry® II
di processoper l'analisidi misura

Spettrometro di mobilità ionica - AMC AirSentry® II - Particle Measuring Systems - di processo / per l'analisi / di misura
Spettrometro di mobilità ionica - AMC AirSentry® II - Particle Measuring Systems - di processo / per l'analisi / di misura
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Caratteristiche

Tipo
di mobilità ionica
Settore
di processo, per l'analisi , di misura, di monitoraggio, per l'industria dei semiconduttori, per l'industria elettronica
Configurazione
mobile
Altre caratteristiche
ad alta sensibilità

Descrizione

Sistema di monitoraggio multipunto AirSentry® II Il sistema di monitoraggio multipunto AirSentry II è il monitor della contaminazione molecolare aerodispersa (AMC) più avanzato che sia disponibile, dotato di spettrometria di mobilità ionica sensibile e reattiva per il rilevamento e la caratterizzazione della contaminazione molecolare aerodispersa da più punti all’interno di una camera bianca. Il sistema dispone di un dispositivo di campionamento con collettore a 16 o 30 punti e un computer integrato dotato di software e comunicazione protetti. Nelle moderne aree di produzione nelle camere bianche, gli strumenti di processo sono spesso distribuiti su grosse aree di camere bianche e più piani. Le unità di trattamento dell’aria consentono il ricircolo della maggior parte dell’aria all’interno di una camera bianca, la quale permette una più facile distribuzione della contaminazione molecolare nelle aree non desiderate, con effetti negativi sulle fasi di processo presenti lontano dalle fonti di contaminazione effettive. Il sistema di monitoraggio AMC AirSentry II è una stazione di monitoraggio centralizzata ed economicamente vantaggiosa che permette il rapido rilevamento della contaminazione, oltre a sequenze di monitoraggio capaci di coprire una vasta gamma di punti di campionamento distribuiti all’interno di una struttura. Un aspetto fondamentale di un programma di monitoraggio AMC strategic Monitoraggio di un massimo di 30 posizioni di campionamento Sensori di spettrometria di mobilità ionica (IMS) AirSentry II sensibili, affidabili, ripetibili Rilevamento di basse concentrazioni di acidi, ammine, ammoniaca e cloruri

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