Sistema di monitoraggio AMC AMPC

per camera biancain tempo realemultipunto

L'AMPC è la soluzione ideale per il monitoraggio delle camere bianche e dei moduli frontali delle apparecchiature (EFEM). La contaminazione molecolare aerodispersa (AMC) nelle fabbriche di circuiti integrati è nota come il principale fattore di perdita di rendimento. Per controllare e capire da dove proviene la contaminazione, Pfeiffer Vacuum offre ora una soluzione unica nel mercato dei semiconduttori per il monitoraggio delle camere bianche e dell'EFEM (Equipment Front End Module). Vantaggio per il cliente - Misurazione in tempo reale dei composti (acidi, basi, composti organici) - Software innovativo per gestire la priorità delle linee di campionamento, il controllo qualità (QC) e gli allarmi - 96 linee di campionamento raccolte su un unico strumento (fino a otto analizzatori) - Elevata produttività (analisi e pulizia in tre minuti) - Nessuna contaminazione incrociata da una linea di campionamento all'altra L'AMPC raccoglie gli analizzatori più avanzati per rilevare e quantificare acidi, basi e composti organici in un massimo di 96 posizioni in un fab grazie ad un design innovativo e integrato delle valvole. La gamma AMPC comprende due utensili: AMPC S e AMPC L dove le dimensioni esterne, il numero di linee e le opzioni sono diverse Inoltre, il telaio di estensione AMPC fornisce 39 U di spazio per ulteriori analizzatori. Può essere usato per l'aggiornamento delle unità AMPC esistenti o aggiunto alle nuove unità AMPC S e AMPC L.