Sistema di monitoraggio per camera bianca APR 4300

ambientale

L'APR 4300 decontamina i wafer da 300 mm e le loro scatole di trasporto (FOUP) a livello molecolare e li protegge durante il tempo di coda. Decontaminazione affidabile e protezione dalla contaminazione L'APR è un sistema per la decontaminazione dei wafer e la protezione durante le code. La Contaminazione Molecolare Aerea (in breve AMC) abbassa la resa e la qualità nella produzione di semiconduttori. L'APR impedisce efficacemente l'adsorbimento di molecole organiche o inorganiche contaminate sulla superficie di un wafer e della scatola di trasporto. Attraverso l'evacuazione delle camere nell'APR, la probabilità di adsorbimento è ridotta in modo massiccio. La resa di un fab può essere aumentata in modo significativo in questo modo e i tempi di coda tra le singole fasi del processo possono essere ottimizzati. Come funziona l'APR? Il FOUP può essere consegnato manualmente o tramite trasporto con paranco a soffitto (OHT) sulle due porte di carico. L'APR è un sistema con quattro camere a vuoto sovrapposte per la decontaminazione di wafer e FOUP, che viene servito da un robot affidabile. Tutte le camere sono dotate di una stazione di pompaggio sotto vuoto, di una cassetta del gas, di un pannello di comando e di un controllo con alimentazione elettrica. Le camere possono essere azionate singolarmente. Dopo aver caricato la camera con un FOUP contenente wafer, la pressione nella camera è ridotta a < 0,1 mbar. Poi viene applicato il processo di decontaminazione. Dopo di che la camera viene spurgata con azoto pulito e riportata alla pressione atmosferica. I wafer e la scatola di trasporto sono ora protetti dalla contaminazione per più di un giorno.