- Campo di traslazione 100 µm, 400 µm o 800 µm
- Risposta significativamente più rapida e durata maggiore rispetto agli azionamenti motorizzati
- Posizionamento fine degli obiettivi con risoluzione sub-nm
- Misura diretta della posizione con sensori capacitivi: Massima linearità
- Compatibile con il software di imaging Metamorph
- Grande apertura trasparente con Ø 29 mm
- Imaging 3D
- Schermatura
- Interferometria
- Tecnologia di misurazione
- Sistemi di autofocus
- Biotecnologia
- Ispezione dei semiconduttori
Eccezionale durata grazie agli attuatori piezoelettrici PICMA
Gli attuatori piezo PICMA® sono completamente isolati in ceramica. Questo li protegge dall'umidità e dai guasti dovuti all'aumento della corrente di dispersione. Gli attuatori PICMA® offrono una durata fino a dieci volte superiore rispetto agli attuatori tradizionali isolati con polimeri. sono stati dimostrati 100 miliardi di cicli senza alcun guasto.
Risoluzione subnanometrica con i sensori capacitivi
I sensori capacitivi misurano con risoluzione subnanometrica senza contatto. Garantiscono un'eccellente linearità di movimento, stabilità a lungo termine e una larghezza di banda nell'intervallo dei kHz.
Elevata precisione di guida grazie alle guide a flessione a gioco zero
Le guide a flessione non richiedono manutenzione, attrito e usura e non necessitano di lubrificazione. La loro rigidità consente un'elevata capacità di carico e sono insensibili a urti e vibrazioni. Funzionano in un'ampia gamma di temperature.
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