Piastra di posizionamento a cuscino d'aria A-523.25005B3

Zdi inclinazionea motore

Intervallo di rotazione in θX, θY fino a ±1 Diametro della piattaforma 250 mm Altezza complessiva 60 mm Panoramica del prodotto A-523 è uno stadio Z a cuscinetto d'aria con azionamento diretto. Progettato come sistema multicinematico parallelo, la piattaforma può essere utilizzata per il movimento Z e per il movimento di punta/inclinazione. Questo stadio offre un'ultra-precisione in formato miniaturizzato. La combinazione di componenti senza contatto si traduce in una piattaforma di movimento senza attrito che offre prestazioni, qualità e durata ottimali. Quando l'A-523 viene ordinato insieme a un controllore della serie A-81x o A-82x, PI esegue la configurazione e il cablaggio dello stadio Z con l'ottimizzazione della messa a punto del servo e sotto carico. Il cliente riceve un sistema di posizionamento completo e pronto all'uso. Accessori e opzioni Set di filtri aria Campi di applicazione Lo stadio Z tip/tilt è ideale per applicazioni di alta precisione, come l'ispezione di wafer, il posizionamento di fibre, il posizionamento di ottiche, l'ispezione di schermi piatti, la litografia senza maschera e la produzione di ultra-LED. Il design senza contatto è ideale per le applicazioni in camera bianca.