Piastra di posizionamento per microscopio H112

XYa motore2 assi

Lo stadio H112/2ST è progettato per la scansione di wafer di semiconduttori, maschere fotografiche, schermi piatti e circuiti stampati con un diametro fino a 300 mm (12 pollici). Inoltre, lo stadio supporta una capacità di carico di 25 kg che lo rende in grado di posizionare con precisione campioni industriali complessi e di grandi dimensioni in questo ampio intervallo di corsa. Sono supportate anche applicazioni a luce trasmessa, come la scansione a infrarossi di wafer, fino a un diametro di 250 mm. Il suo design sottile e leggero consente una più facile integrazione nei microscopi personalizzati. Dotato della tecnologia di scansione intelligente (IST) brevettata da Prior per ottimizzare la precisione, la linearità e altre caratteristiche di prestazione dello stadio, in combinazione con una vite a sfera da 2 mm per la velocità, l'H112/2ST è ottimizzato per la scansione di campioni industriali di grandi dimensioni in modo affidabile ed efficiente. A seconda della regione, possono essere disponibili configurazioni di azionamento alternative per aumentare ulteriormente la velocità. Questo stadio può essere montato anche su microscopi Nikon e Evident/Olympus di grande formato ed è compatibile con i software Nikon e Evident/Olympus (è richiesto il pacchetto appropriato).