Piastra di posizionamento di grande formato H116

XYa motore2 assi

Lo stadio H116/2 è progettato per la scansione di wafer di semiconduttori, maschere fotografiche, schermi piatti e circuiti stampati con diametro fino a 200 mm (8 pollici). È dotato di una corsa dell'asse X di 10 pollici per facilitare il caricamento sicuro dei campioni ed è compatibile con le applicazioni a luce trasmessa. Inoltre, lo stage supporta una capacità di carico di 25 kg ed è quindi in grado di posizionare con precisione campioni industriali complessi e di grandi dimensioni in un'ampia gamma di corse. Dotato della tecnologia di scansione intelligente (IST) brevettata da Prior per ottimizzare l'accuratezza dello stadio, la linearità e altre caratteristiche di prestazione, in combinazione con una vite a sfera da 2 mm per la velocità, l'HE12/2ST è ottimizzato per la scansione di campioni industriali molto grandi in modo affidabile ed efficiente. A seconda della regione, possono essere disponibili configurazioni alternative per aumentare ulteriormente la velocità.