I produttori di semiconduttori devono essere in grado di verificare continuamente la purezza dei gas di processo in tempo reale e di rilevare tracce di contaminazione a concentrazioni dell'ordine di un basso numero di parti per trilione (ppt). Monitorate un'ampia gamma di gas e miscele di gas con la stabilità che garantisce la ripetibilità a lungo termine richiesta dalla maggior parte delle applicazioni. Chiedete informazioni sul nostro APIMS SX5 con funzionalità di Stream Switcher.
-Commutazione di flusso elegante per il monitoraggio di gas sfusi ad altissima purezza
Monitoraggio in tempo reale e multi-specie per TUTTI i gas critici
Impurità nei gas elettronici sfusi, comprese tracce di O2,
H2, H2O, CH4, CO, CO2, N2, Ar e altro ancora
- NUOVO! Commutazione automatica del flusso opzionale
con l'armadio di commutazione dei gas SX5.
Passaggio automatico da un gas all'altro fino a cinque gas sfusi!
- Intervallo di misura impareggiabile, da PPT al 100%, grazie all'esclusiva configurazione di ionizzazione a doppia sorgente
- Facile da usare grazie all'interfaccia utente integrata e alle calibrazioni automatiche programmate
- Assistenza clienti e team applicativo tra i migliori del settore
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