Analizzatore di gas TIGER OPTICS™ T-I MAX™

di idrogenodi clorurodi monitoraggio

ANALIZZATORE DI TRACCE DI CLORURO DI IDROGENO DI NUOVA GENERAZIONE Si può passare molto tempo a "cercare" i contaminanti molecolari aerodispersi (AMC) quando si scopre una catastrofica perdita di prestazioni o di resa del prodotto nella fase di collaudo finale del dispositivo; oppure si può utilizzare il nostro analizzatore TIGER OPTICS™ T-I Max™ HCl per individuare e monitorare questi invisibili generatori di difetti, che si trovano comunemente in agguato all'interno e intorno alle apparecchiature, al personale, ai porta wafer e alle camere bianche. Nell'odierna lavorazione avanzata dei semiconduttori, i gas, i vapori e le sostanze chimiche residue emanate dai vari materiali, dalle operazioni di lavorazione accelerata e dallo stoccaggio e trasporto dei substrati sono diventati un problema critico. Tanto che l'International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) evidenzia ora la contaminazione AMC come una sfida tecnica fondamentale per raggiungere e mantenere bassi tassi di difettosità nei dispositivi. Con particolare attenzione ai principali fattori che contribuiscono alla "contaminazione chimica" degli AMC, gli analizzatori T-I Max HCl, basati sulla nostra nuova piattaforma globale, sono in grado di rilevare e monitorare continuamente l'HCl con una combinazione senza precedenti di sensibilità, selettività e velocità di risposta. Il nostro GO-cart per AMC aggiunge ulteriore flessibilità fornendo una piattaforma mobile che può essere spostata rapidamente in diversi punti di monitoraggio critici. BENEFICI Tecnica di misura sensibile e assoluta, che utilizza la spettroscopia Cavity Ring-Down (CRDS) Velocità di risposta e limiti di rilevamento di parti per trilione nettamente migliorati Esente da derive, con calibrazione tracciabile dai principali laboratori di riferimento del mondo Costo di proprietà più basso - senza manutenzione