Il Pinpoint di Prodrive Technology offre una soluzione di misura di posizione ad alta precisione per sistemi di movimento precisi. Il Pinpoint è ideale per gli stadi (a vuoto) in cui sono importanti l'alta affidabilità e la lunga disponibilità. La nostra soluzione è caratterizzata da una sincronizzazione con latenza inferiore al nanosecondo e dalla misurazione della posizione assoluta. A questo abbiniamo opzioni di integrazione digitale senza compromessi, per una sincronizzazione senza soluzione di continuità tra il sistema di misura e quello di controllo del movimento. L'esperienza ottica di Prodrive fornisce soluzioni interferometriche innovative che si concentrano sulla riduzione del TCO (costo totale di proprietà) per i nostri partner OEM; riducendo il costo diretto dei sistemi e diminuendo i costi operativi e di manutenzione. Per oltre due decenni Prodrive Technologies è stata un partner di ricerca, sviluppo e produzione per l'industria dei semiconduttori. Combinando questa esperienza con il nostro solido sistema di gestione della qualità, siamo in grado di capire cosa serve per implementare il controllo delle copie e delle modifiche, supportando le nostre soluzioni dall'ideazione alla fine del ciclo di vita e oltre.
Numero di assi del sensore per MU - 1 - 6
Distanza di lavoro - 0 - 6000 mm
Velocità del target - 0 - 1 m/s
Risoluzione del sensore - 25 pm
Ripetibilità del sensore - 200 pm (in condizioni di vuoto)
Larghezza di banda di misura per asse - 40 MHz (ottica)
uscita digitale a 5 MHz
Stabilità del segnale (2,5s) - 0,1 nm
Deriva termica - < 50nm / C
Modalità di misura e caratteristiche
Modalità predefinita - Spostamento relativo single ended
Misura differenziale - Inclusa
Software per la funzione di homing - Incluso
Misura della distanza assoluta - Inclusa; 20s
Allineamento del sensore - Manuale sulla testa del sensore
Allineamento del target - Laser visibile (600 nm)
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