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Smussatrice elettrica GC-TD804
da tavolodi precisioneper wafer

Smussatrice elettrica - GC-TD804 - Qingdao Gaoce Technology Co., Ltd. - da tavolo / di precisione / per wafer
Smussatrice elettrica - GC-TD804 - Qingdao Gaoce Technology Co., Ltd. - da tavolo / di precisione / per wafer
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Caratteristiche

Azionamento
elettrica
Tipo
da tavolo
Applicazioni
di precisione, per wafer
Altre caratteristiche
a 2 teste
Velocità di rotazione

Min.: 0 rpm
(0 rad.min-1)

Max.: 100.000 rpm
(628.318,5307 rad.min-1)

Descrizione

Introduzione del prodotto
Questa macchina è progettata per lo smussatura del bordo dei wafer in carburo di silicio. È compatibile con wafer da 4, 6 e 8 pollici e supporta la lavorazione della superfice OF. È disponibile opzionalmente la funzione di lavorazione della scanalatura NOTCH. Il sistema è dotato di doppia postazione per garantire un flusso continuo e funzionamento stabile.

Parametri del prodotto (tabella)
Dimensioni e peso unità principale: 2.250 (L) * 1.650 (W) * 2.600 (H) mm; 3.000 kg
Dimensione wafer: 4 / 6 / 8 in
Spessore wafer: 300 μm–1.500 μm
Postazione: doppia postazione
Forma della superficie di riferimento del wafer: OF / Notch (Notch opzionale)
Dimensioni dell'attrezzatura: 2.250 (W) * 1.650 (D) * 2.600 (H) mm
Precisione assi X/Y/Z: ±1 μm
Precisione piana delle ventose in ceramica: ≤3 μm
Precisione assiale e radiale del mandrino del banco di rettifica: ±1 μm
Precisione assiale e radiale del mandrino della mola: ±1 μm
Diametro esterno mola: Φ202 mm
Diametro interno di montaggio mola: Φ30 mm
Spessore mola: 20 mm
Velocità mola: 0–4.000 giri/min (secondo richiesta cliente)
Velocità mola Notch: 0–100.000 giri/min (secondo richiesta cliente)
Tipi di mola: T, R, TT, RR, TR, ecc.
Misurazione spessore wafer (non a contatto o a contatto): ripetibilità ±2 μm; punto di misura: centro
Metodo di pulizia: pulizia rotante
Metodo di asciugatura: asciugatura centrifuga
Sezione carico/scarico: cassette: 4; scanalature: 25 (regolabili)

Caratteristiche / Specifiche tecniche
  • Applicazione: smussatura per wafer in carburo di silicio, compatibile 4/6/8 pollici
  • Funzioni opzionali: lavorazione superficie OF, scanalatura NOTCH opzionale
  • Layout a doppia postazione per supportare carico/scarico continuo
  • Precisione: assi X/Y/Z ±1 μm; planaritá ventose ceramiche ≤3 μm
  • Mola: Ø202 mm esterno, Ø30 mm foro di montaggio, spessore 20 mm
  • Range di velocità configurabile: mola 0–4.000 giri/min; mola Notch fino a 100.000 giri/min
  • Misurazione spessore: punto centrale, ripetibilità ±2 μm
  • Processo: pulizia rotante e asciugatura centrifuga dopo rettifica
  • Carico/scarico: 4 cassette con 25 scanalature regolabili

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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.