Sistema di movimentazione automatico SMZ-IV

modularein lineadi wafer

Apparecchiatura in linea, che può essere integrata con una o due apparecchiature PECVD di interfaccia barca-barca e realizzare il trasporto della barca di grafite e il carico e lo scarico automatico dei wafer. Questa apparecchiatura può essere applicata nel processo prima e dopo il processo PECVD, in grado di caricare i wafer dalla cassetta alla barca di grafite e di trasportare la barca soddisfatta all'apparecchiatura PECVD o di trasportare la barca elaborata a questa apparecchiatura e di scaricare automaticamente i wafer dalla barca di grafite alla cassetta. - Con design modulare, che può essere integrato in linea con uno o due set di apparecchiature PECVD. - Con controllo da PC, funzionamento da computer tablet, facile e chiaro da usare. - Rilevamento online delle microfessure, rilevamento dello spessore del film, sistema di ispezione del colore e gestione automatica dei wafer NG (con costi aggiuntivi). - Configurazione online/offline. - Compatibile con AGV, sistema RFID, funzione MES opzionale.