Ricottura per il settore energetico DOA-420

per grandi serie

Apparecchiatura orizzontale di diffusione/ossidazione/ricottura L'attrezzatura è usata principalmente per drogare e formare giunzioni PN su wafer di silicio nel processo di produzione di celle solari di silicio cristallino. Preparare la barca di quarzo e i wafer→ Inserire i wafer→ Caricamento dei wafer→ Scegliere la ricetta → Caricamento della barca→ Aspirazione del tubo→ Aumento della temperatura→ Ingresso dell'ossigeno→ Ingresso del Pocl3→ Spinta→ Trattamento DOA→ Scarico della barca→ Raffreddamento→ Test→ Scarico dei wafer. - Diffusione a bassa pressione, ossidazione e ricottura. - Soluzione tecnologica ad alta resistenza del foglio. - Tecnologia brevettata, disponibile per la diffusione del boro. - Struttura unica della porta del forno a doppio strato. - Tecnologia brevettata per il sistema di trattamento dei gas di scarico. - Meccanismo di spinta della barca del modulo integrale ad alta velocità. - Tecnologia di stabilizzazione della pressione della fonte d'aria di alta precisione. - Controllo automatico intelligente. - Software MES con diritto di proprietà intellettuale indipendente. - Protezione d'allarme per surriscaldamento, rottura della termocoppia e collisione della barca. - Soluzione di fabbrica intelligente S.C.