Principalmente utilizzato per la generazione di rivestimenti antiriflesso di altissima qualità nella produzione di celle solari in silicio cristallino, e per la deposizione di film di passivazione sul lato posteriore delle celle solari.
Barca di grafite e wafer pronti→ Ingresso dell'azoto→ Caricamento della barca di grafite→ Vuoto, test di pressione → Pre-pulizia e controllo dell'ammoniaca→ Vuoto del tubo, controllo delle perdite, temperatura costante→ Pre-rivestimento → Rivestimento→ Vuoto, test di pressione→ Pulizia del tubo e ingresso dell'azoto→ Scarico della barca di grafite.
- Compatibile con il processo SiOxNy PERC.
- Doppia tecnologia di sigillatura delle flange dell'acqua di raffreddamento.
- Tecnologia di riscaldamento interno brevettata.
- Meccanismo di spinta della barca del modulo integrale ad alta velocità.
- Barca di grafite senza contatto con il tubo di quarzo.
- Software MES con diritto di proprietà intellettuale indipendente.
- Sistema CCC sviluppato in modo indipendente
- Tecnologia di rivestimento veloce.
- Protezione di allarme per surriscaldamento, rottura della termocoppia e collisione della barca.
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