Sistema di carico per sfuso

automatizzato

Il design modulare composto da caricatore multi corsia, metrologia e deviatore di celle consente di adattare in modo ottimale la linea di celle di carico alla produttività, al numero di piste e alle esigenze di spazio. Per il processo di cella successivo, i wafer vengono trasferiti da una o due piste di alimentazione su dieci piste o da una pista su cinque piste. Per soddisfare le esigenze di controllo qualità più elevate, è possibile aggiungere ai sistemi ulteriori opzioni di ispezione (riconoscimento di fori e cricche, misurazione della superficie, misurazione della durata e della resistenza). Controllo qualità prima dell'avvio del processo Massima produttività fino a 7600 wafer all'ora Adatto a sistemi di processo fino a dieci piste Rimozione delle rotture prima dei sistemi metrologici