Sistema di posizionamento a 3 assi

a ponteper ispezione Wafer e metrologiaad alta precisione

Soluzioni con schermo piatto personalizzate La nostra soluzione per il complesso settore degli schermi piatti copre processi che vanno dagli AOI ai tester di array, fino alle misurazioni degli spaziatori fotografici . Sono stati installati nel mondo oltre 800 sistemi. Alcuni di essi sono stati prodotti e assemblati direttamente in Asia. Per ridurre il TCO SCHNEEBERGER innova integrando la nostra alternativa al granito: la fusione minerale. Questa struttura altamente ammortizzante contribuisce all’ottimizzazione, ad esempio, del peso totale del sistema, riducendo i costi di movimentazione e di spedizione. Ulteriori informazioni sulla fusione minerale... Specifiche tipiche per "sistemi di grande formato" su punto di interesse* - Configurazione: XYZ o + Z (gantry) - Movimento: fino a 3500 x 2700 mm - Precisione: ≤ 10 µm (su TIR, mappato) - Ripetibilità: ≤ 2 µm - Stabilità: ≤ 10 nm (entro 1s ptp) - Spostamento e assestamento: < 500 ms per 300 mm - Velocità Cst: < 0,01% a <100 mm/s - Rettilinearità: < 20 um su 3000 mm - Planarità: < 20 um su 3000 mm