Sistema di posizionamento multiasse

automaticoper l'industria dei semiconduttoriad alta precisione

Soluzioni per semiconduttori A prescindere che le vostre richieste vertano sullo stato iniziale o sullo stato finale di un processo, siamo in grado di proporvi le soluzioni su misura per le vostre esigenze più complesse. Le richieste altamente specifiche con tempi di sviluppo estremamente brevi nonché le velocizzazioni e i rallentamenti della produzione vengono affrontati impeccabilmente dal nostro team, che lavora con i nomi più importanti del mercato SEMI da oltre 25 anni. Il mondo della stabilità dei nanometri e dei tempi di spostamento e assestamento è il nostro mondo. Comprendiamo al meglio le vostre esigenze e le trasformiamo in soluzioni di movimento completamente integrate. Specifiche tipiche per "semiconduttori" in corrispondenza del punto di interesse* - Configurazione: XYTZ o + Z - Corsa: fino a 600 x 750 mm (wafer da 450 mm) - Precisione: ≤ 1 µm (su TIR, mappato) - Ripetibilità: ≤ 0,1 µm - Stabilità: ≤ 2 nm (entro 1s ptp) - Spostamento e assestamento < 100 ms per 25 mm - Velocità Cst: < 0,01% a <100 mm/s - Rettilinearità: < 5 um su TIR - Planarità: < 5 um su TIR