Il modello a macchina di PVD: RTSP1215-MF è destinato e sviluppato per depositare il rivestimento dell'oro della latta sul circuito di rame. Il film sottile della latta generato nell'ambiente di alto vuoto, che altamente ha migliorato l'uniformità e la purezza.
Caratteristiche del progetto di rame della macchina del rivestimento della latta PVD del circuito:
1. la camera 8-sides con l'uguale gradua le flange secondo la misura di supporto, che possono montare e scambiare la fonte di ione ed i catodi o dell'arco i catodi farfugliare flexiblely basati sui processi di rivestimento richieda.
2. Progettazione compatta che occupano soltanto 20sqm;
3. La fonte di ione per pretrattamento ed il fascio ionico di pulizia del plasma ha assistito il deposito per migliorare l'adesione del film.
4. L'alto pacchetto della velocità di pompaggio e la configurazione stabile, le pompe molecolari della sospensione possono essere montati magneticamente in tutta la direzione.
truttura
La macchina di rivestimento di vuoto contiene il sistema di chiave completato elencato qui sotto:
1. Camera di vuoto
2. Sistema di pulsometro di Rouhging (pacchetto della pompa della protezione)
3. Alto sistema di pulsometro (magneticamente pompa molecolare della sospensione)
4. Sistema elettrico di esercizio e di controllo
5. Sistema della funzione di Auxiliarry (sottosistema)
6. Sistema di deposito