Macchina per deposizione PVD RT-R2R-SP

per polverizzazione catodica a magnetronassistita da un fascio di ionidi pelliccola sottile idrofoba

Siamo lieti di proporre il nostro MultiWeb-Series Roll to Roll Vacuum Sputtering Web Coater per soddisfare i vostri requisiti di deposizione multi-livello. Applicazioni per il rivestimento con pellicola a bassa tensione:carta elettronica, circuiti flessibili, fotovoltaici, strisce mediche, RFID (Radio Frequency Identification) e pellicola Low-E. Film di deposito 1Materiale di substrato: PET, PEN, PES, PI, PC, PA,... 2Spessore del substrato: 15~300 μm 3Metodi di deposizione: AC Reattivo per SiO2 ((Dielettrico); DC pulsato per ITO (Metallo e conduttore) 4Conduttore di ossido TCO: ITO, AZO, IZO... 5Conduttore metallico: Al, Cu, Mo, Ag... 6. film ottico: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2... 7Semiconduttore: ZnO, InGaZnO... 8Isolatore: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx... 9Uniformità: ± 5% su tutta la rete