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Macchina per deposizione per evaporazione termica di film sottilisottovuoto
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Caratteristiche
- Tecnologia
- per evaporazione termica
- Tipo di deposito
- di film sottili
- Altre caratteristiche
- sottovuoto
Descrizione
·Progetto su misura per il processo alla perovskite, in grado di eseguire esperimenti di co-evaporazione o evaporazione sequenziale a seconda delle esigenze.
·Elevata precisione nel controllo della velocità di deposizione (0,1 Å/s), con condizioni sperimentali precise e stabili.
·Apertura della camera di processo, manutenzione della sorgente di evaporazione e caricamento dei materiali semplici e comodi; struttura compatta.
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