·Design a camera singola con ingombro ridotto e tempi di funzionamento brevi.
·Adatto alla deposizione di film compositi multistrato con diversi precursori e materiali, con un’ampia scalabilità di processo.
·Il controllo preciso dello spessore e dell’uniformità del film garantisce una struttura densa con elevata conformabilità, bassa densità di difetti e risultati eccellenti.
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