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Macchina per deposizione PVD
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Caratteristiche
- Metodo
- PVD
Descrizione
·Deposizione fisica da vapore (PVD) e deposizione con plasma reattivo (RPD) integrate.
·La gamma di apparecchiature spazia dalle apparecchiature per la ricerca e lo sviluppo a quelle per la produzione di massa.
·Capacità di produzione di massa: 100 MW, 250 MW, 600 MW.
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