·Dotato di un meccanismo a portale per il carico/scarico dei wafer (o di un robot a sei assi importato per lo stesso scopo) e di un robot a sei assi per la movimentazione delle cassette; doppia stazione di lavoro per il carico/scarico dei wafer, con commutazione automatica per garantire un’elevata produttività e la stabilità dell’impianto;
·Le parti importanti, quali i pettini e le pinze, sono realizzate con materiali speciali e tecniche di lavorazione che riducono notevolmente i danni causati dai pettini e dalle pinze ai wafer; le strutture appositamente progettate consentono la sostituzione rapida di un singolo pettine o di una singola pinza;
·Struttura modulare del programma di controllo; l’interfaccia uomo-macchina (HMI) consente l’interazione ad alta velocità dei dati con il PLC tramite comunicazione di rete, il che facilita l’espansione delle funzionalità dell’apparecchiatura e la sua manutenzione; l’interfaccia uomo-macchina intuitiva e il sistema di rilevamento e allarme perfetto garantiscono il funzionamento automatico e stabile dell’apparecchiatura;
·Compatibile con il sistema MES e la linea di produzione intelligente AGV; il modulo di rilevamento della resistenza di foglio e altri moduli di collaudo sono opzionali; altre funzioni possono essere personalizzate in base alle esigenze del cliente.
---