Sistema di movimentazione automatico

modularedi waferdi trasporto

·Progettazione modulare, con componenti altamente standardizzati per strutture interne simili, che facilita la gestione dei ricambi; ·Controllo tramite touch screen + PLC, con un’interfaccia operativa semplice e intuitiva; ·Logica di trasferimento e movimentazione di piccole barchette di processo, con elevata produttività: ≥ 8000 pezzi/ora (wafer da 182 mm); ·Dotato di funzione di pausa a livello di accesso più elevato per potenziare appieno la ridondanza di sicurezza dell’apparecchiatura; ·Disponibile il sistema di rilevamento più diffuso nel settore (opzionale), per migliorare la resa produttiva; ·Compatibile con AGV e sistema RFID per ottenere la pianificazione e il tracciamento automatici delle cassette e dei supporti di processo, nonché disponibile per la gestione a livello di officina e la pianificazione delle cassette e dei supporti di processo tramite integrazione con il sistema MES.