Sistema di nanoposizionamento 3 assi NMM-1

laserotticoad uso industriale

Posizionamento, manipolazione, elaborazione e misurazione di oggetti e strutture con precisione nanometrica - la macchina per nanoposizionamento e nanometrologia più precisa al mondo - campo di misura e posizionamento 25 x 25 x 5 mm - risoluzione 0,1 nm - sistema di posizionamento e misura 3D di massima precisione - sistemi di tastatura, ad esempio sensori a fuoco laser, microscopi a forza atomica, sensori a luce bianca, microscanner 3D - l'architettura aperta del dispositivo consente l'applicazione di sensori personalizzati - l'NMM-1 è controllato tramite software per PC. È disponibile un'API utente. La macchina di nanoposizionamento e nanomisura per la misurazione di coordinate tridimensionali opera in un campo di misura di 25 mm x 25 mm x 5 mm con una risoluzione di 0,1 nm. Una speciale disposizione dei sensori garantisce una misurazione priva di aberrazioni su tutti e tre gli assi coordinati. Gli assi di misura di tre interferometri miniaturizzati si intersecano virtualmente nel punto di contatto tra il sensore di tastatura e l'oggetto misurato. L'oggetto misurato si trova direttamente su un angolo mobile dello specchio. La posizione dell'angolo dello specchio viene rilevata dai tre interferometri fissi in miniatura. L'angolo dello specchio viene posizionato con un sistema di azionamento a tre assi. Due sensori angolari vengono utilizzati per misurare e compensare le deviazioni angolari durante il posizionamento. La luce di un laser stabilizzato viene trasmessa dall'unità elettronica alle teste degli interferometri tramite fibre ottiche. Il risultato è un design compatto e stabile alla temperatura della macchina per il nanoposizionamento e la nanomisura.