Sistema di posizionamento tripode TRIPOD 52-6DoF

XYsottovuoto

Il TRIPOD 52-6DoF è compatibile con il sistema modulare CLS-52 e consiste in un palco tip-tilt, come il suo equivalente più grande, il TRIPOD 92-6DoF La disposizione delle tre torrette permette un movimento di rollio e beccheggio della piastra superiore nell'intervallo di ±8,5° per Θx, ±9,5° per Θy e una traslazione lineare nella direzione Z di 5 mm. La piastra superiore include uno slot di montaggio per uno stadio di rotazione SR-3211 per aggiungere un quarto grado di libertà al setup. La piastra inferiore invece permette un montaggio diretto su una breadboard o una piattaforma XY composta da due traslazioni lineari CLS-52 DeepL. Quest'ultima possibilità porta a un sistema di posizionamento 5D o insieme all'SR-3211 a un sistema 6D. Meccanico Corsa [mm] - 31 (X); 31 (Y); 5 (Z) Corsa [ - 17 (Θx); 19 (Θy); illimitata (Θz) Max. Forza normale [N] - 5 Max. Forza orizzontale [N] - 2.5 Dimensioni [mm] - 90 x 90 x 80 Altezza della piattaforma da terra [mm] - 80 Peso [g] - ~ 550 Anello chiuso Tipi di sensori - S Incremento più piccolo [nm] - 1 Incremento più piccolo [µrad] - 1 Ripetibilità ad anello chiuso, corsa completa MCS2 [nm] - < ± 200 Ripetibilità ad anello chiuso, corsa 1 mm MCS2 [nm] - < ± 10 Ripetibilità a circuito chiuso, corsa completa MCS2 [µrad] - < ± 15 Opzioni Opzioni di vuoto - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) Opzione non magnetica - Sì (-NM)