Valvola manuale XGTP series
per gas neutroper wafer

valvola manuale
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Caratteristiche

Azionamento
manuale
Media
per gas neutro
Applicazioni
per wafer
Temperatura

150 °C (302 °F)

Pressione

Min.: 450.000 Pa (65,3 psi)

Max.: 600.000 Pa (87 psi)

Descrizione

Per wafer da 300 mm a tenuta parallela tipo valvola a fessura XGTP Lunga durata 3 milioni di cicli (a temperatura ordinaria) Bassa generazione di particelle Ridotta di 1/5 o più (rispetto al prodotto attuale) Manutenzione più facile Easy sostituzione del soffietto Gate può essere sostituito dall'alto. (Su ordinazione) Misure di sicurezza Mechanical viene adottato il meccanismo di chiusura.

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