Refrigeratore a circolazione per l'industria dei semiconduttori Nikola series

a condensazione ad acquatermoelettrico

REFRIGERATORI PER SEMICONDUTTORI Nikola 3K/5K Refrigeratori termoelettrici ad alta capacità per Plasma Etch e altre applicazioni semi I nostri refrigeratori a più alta capacità progettati specificamente per la lavorazione dei semiconduttori 3.000 o 5.000 watt di capacità di raffreddamento Stabilità/ripetibilità della temperatura di ±0,05°C Due opzioni di pompa per flussi fino a 10 gpm e pressione fino a 100+ psig Riduce le variazioni da wafer a wafer ed elimina il primo effetto wafer Fino all'80% di efficienza energetica in più rispetto ai refrigeratori basati su compressore Utilizza la tecnologia termoelettrica per un'alta affidabilità e costi di manutenzione ridotti Design modulare per una facile manutenzione Elimina il Freon e altri refrigeranti dannosi per conformarsi alle nuove normative ambientali Utilizza meno acqua dell'impianto e refrigeranti costosi, come Fluorinert o Galden Interfacce di comunicazione disponibili per i sistemi AMAT, LAM, TEL e Hitachi Alimentazione universale - inserisci la spina e vai ovunque nel mondo Una soluzione eccellente per l'incisione al plasma, la cenere al plasma, la metrologia, la CMP e altri processi