Refrigeratore d'acqua ThermoRack 1801

compattotermoelettrico

REFRIGERATORI PER SEMICONDUTTORI ThermoRack 1801 Refrigeratore a rack di capacità superiore per Plasma Etch e altre applicazioni per semiconduttori 1.800 watt di capacità di raffreddamento - 50% di capacità in più rispetto a ThermoRack 1201 nella stessa struttura a rack 5U Stabilità/ripetibilità della temperatura di ±0,05°C Intervallo operativo da -20°C a 70°C Progettato per una risposta molto veloce Disponibile in configurazioni standard ad alto flusso, medio flusso e basso flusso Riduce le variazioni da wafer a wafer ed elimina il primo effetto wafer Fino all'80% di efficienza energetica in più rispetto ai refrigeratori basati su compressore Utilizza la tecnologia termoelettrica per un'elevata affidabilità e costi di manutenzione ridotti Design semplice - solo 2 parti in movimento Elimina il Freon e altri refrigeranti dannosi per conformarsi alle nuove normative ambientali Utilizza meno acqua dell'impianto e refrigeranti costosi, come Fluorinert o Galden Dimensioni compatte: Fino a 6 sistemi TR1801 stanno nello spazio di 1 refrigeratore a compressore Interfacce di comunicazione disponibili per i sistemi AMAT, LAM, TEL e Hitachi Alimentazione universale: collegarsi e andare ovunque nel mondo Una soluzione eccellente per plasma etch, plasma ash, CMP e altri processi