Magnetron rotativo CM

pianodi polverizzazione a bombardamento ionico

Il CM è il nostro blocco terminale per montaggio esterno più compatto. Può gestire target fino a 1000 mm e ha una potenza fino a 20 kW DC o 80 kHz MFAC Il blocco terminale per montaggio esterno CM combina elevate prestazioni e affidabilità in un design molto compatto e leggero. Caratteristiche Lunghezza dell'albero motore personalizzabile Design compatto e flessibile Cartuccia di tenuta dell'acqua di facile accesso Tecnologia brevettata per la fornitura di energia Riempimento e scarico dell'acqua di destinazione brevettati Design semplice per un minor numero di parti La barra magnetica si regola esternamente a qualsiasi angolo Vantaggi Copertura del substrato più ampia rispetto ai blocchi terminali interni Si adatta alla maggior parte dei progetti di camere Tutte le utenze sono esterne e rimangono attaccate durante il cambio di destinazione Elevata densità di imballaggio; catodi doppi in uno spazio di 220 mm (con un target ID di 80 mm) I motori di azionamento possono essere montati in alto o in basso, verso l'interno o verso l'esterno Elevata potenza senza impatto di riscaldamento induttivo - nessuna polvere di spazzola Manutenzione rapida, semplice e interna Permette il co-sputtering, l'accoppiamento al plasma più stretto e limita il rivestimento dello schermo