Magnetron per montaggio laterale MM Series

rotativo

La MM è il nostro blocco terminale per il montaggio esterno di medie dimensioni. Può gestire target fino a 2500 mm (supportati) e ha una potenza fino a 100 kW DC o 80 kHz MFAC Il blocco terminale per montaggio esterno della serie MM utilizza la stessa tecnologia brevettata del nostro blocco terminale della serie MC per offrire un valore, prestazioni e affidabilità eccezionali in un design compatto Caratteristiche Lunghezza dell'albero motore personalizzabile Design compatto e flessibile Cartuccia di tenuta dell'acqua di facile accesso Tecnologia brevettata per la fornitura di energia Riempimento e scarico dell'acqua di destinazione brevettati Design semplice per un minor numero di parti La barra magnetica si regola esternamente a qualsiasi angolo Vantaggi Copertura del substrato più ampia rispetto ai blocchi terminali interni Si adatta alla maggior parte dei progetti di camere Tutte le utenze sono esterne e rimangono attaccate durante il cambio di destinazione Elevata densità di imballaggio; catodi doppi in uno spazio di 350 mm I motori di azionamento possono essere montati in alto o in basso, verso l'interno o verso l'esterno Elevata potenza senza impatto di riscaldamento induttivo - nessuna polvere di spazzola Manutenzione rapida, semplice e interna Permette il co-sputtering, l'accoppiamento al plasma più stretto e limita il rivestimento dello schermo