Piastra di posizionamento lineare MT130

elettrica1 assea rulli incrociati

MT130 Stadio lineare compatto con motore interno Lo stadio lineare miniaturizzato offre un'eccellente rettilineità e planarità grazie ai cuscinetti a rulli. L'azionamento è completamente alloggiato nel sistema di posizionamento altamente compatto. - Corsa fino a 80 mm in spazi di installazione ridotti (130 x 130 x 43 mm) - Ripetibilità fino a 2,3 µm - Facilmente impilabile in sistemi multiasse compatti Opzioni: - Disponibile con motore CC o motore passo-passo - Unità compatta a 3 assi: MP130-3 - Combinabile con lo stadio rotante DT130 - Opzione in acciaio inox per una maggiore rigidità - Versione per camera bianca, vuoto e EUV Campi di applicazione Posizionamento in spazi ridotti, ad es. telecamera, microscopio (AFM, WLI), impostazione di sistemi multiasse XYZ di minimo ingombro, manipolatori per l'industria e la ricerca, sistemi compatti di posizionamento in camera bianca, ispezione di wafer, allineamento di wafer prober Dati tecnici: - Corsa: 50 mm, 80 mm - Ripetibilità unidirezionale: ± 2,3 µm - Ripetibilità bidirezionale: ± 4,3 µm - Precisione: ± 8,1 µm, ± 9,7 µm - Velocità di posizionamento: 20 mm/s - Accelerazione massima: 0.4 m/s2 - Carico max. Carico Fx: 45 N - Carico massimo Carico Fy: 95 N - Carico massimo Carico Fz: 95 N