Sistema di posizionamento per ispezione Wafer e metrologia KT470-SM

XYZlineareper camera bianca

Questo sistema di ispezione è costituito dallo stadio XY KT470 su una struttura in granito con un'unità Z verticale manuale. Questa combinazione è adatta alla progettazione flessibile e modulare di sistemi di produzione/processi in linea per le camere bianche e può essere ampliata opzionalmente con assi Z rotanti o motorizzati. Ideale per processi di ispezione flessibili di wafer fino a 12 pollici (300 mm) Supporto per teste di processo intercambiabili (microscopio, sensore, ...) Diversi intervalli di scansione e regolazione manuale dell'altezza (in opzione motorizzata con motion controller) Manutenzione ridotta per una produzione 24/7 fino alla classe di camera bianca ISO 6 (superiore su richiesta) Opzioni: Campo di traslazione estensibile XY 200 - 350 mm, Z 200 - 400 mm Adattamento al processo: apertura, portacampioni, estensione degli assi Z aggiuntivi (motorizzati) Disaccoppiamento delle vibrazioni adattato mediante strato intermedio in gomma smorzante o smorzatori pneumatici Concetto e tecnologia di sicurezza (arresto di emergenza, interruttore della porta, barriera fotoelettrica, scanner laser, STO, SLS) Design personalizzato con telaio, involucro o integrazione nella fabbrica Sviluppo specifico per il cliente con progettazione 3D, prototipi, produzione in serie