Sistema di posizionamento sotto alto vuoto LA80-2LA95

multiasse3 assiXY

Sistema rapido a 3 assi UHV LA80-LA90 UV / UHV / EUV, corsa max. 500 mm di corsa, 2 µm di ripetibilità, 5 kg di carico Questo stadio di trasferimento rapido è adatto per applicazioni precise, veloci e di lunga durata nel vuoto ultraelevato. Soddisfa inoltre i requisiti per l'uso in condizioni di radiazioni ultraviolette estreme grazie alla bassissima emissione e al basso numero di particelle. Gli assi sono disponibili nelle dimensioni LA80, LA95, LA170 e sono progettati per carichi fino a 20 kg in funzionamento verticale. Questa combinazione di assi è stata sviluppata nell'ambito del progetto "tOMography Nano crYo (OMNY)" con il Paul Scherrer Institut (PSI). Preciso, veloce e durevole nel vuoto spinto - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar - Liquido di lubrificazione fino a 10E-8 / a secco fino a 10E-11 mbar - Durata di vita nel range di chilometri senza lubrificazione liquida - Max. Temperatura di cottura: 120°C - Disponibile come versione magnetica Opzioni: - Corse specificamente adattabili alla vostra applicazione fino a 510 x 80 x 80 mm - Senza feedback come puro sistema di motori passo-passo fino a 5 µm di ripetibilità - Eccezionale arresto nell'intervallo dei nanometri grazie ai freni piezoelettrici aggiuntivi in Z e Y - Vite a ricircolo di sfere in Z e Y per una maggiore velocità e durata con lubrificazione - Versioni per camera bianca ISO 14644-1 classe 4 (fino alla classe 1 su richiesta) Riferimenti OMNY-A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://doi.org/10.1063/1.5020247