Sistema di micro-posizionamento sotto alto vuoto MP105-3 series

3 assiXYZpiezoelettrico

Microposizionatore rapido e preciso - HV / UHV / EUV, corsa 20 - 50 mm, ripetibilità 0,2 µm, carico 1 kg - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV - Liquido lubrificante fino a 10E-8 / secco fino a 10E-11 mbar - Temperatura max. Temperatura di cottura: 120°C Configurabile opzionalmente: - Disponibile in versione magnetica, a basso magnetismo e senza magnetismo - Diverse varianti di motore: Motore piezoelettrico o nanomotion - Opzionalmente con sistema di misura ad alta risoluzione per una ripetibilità fino a 0,005 µm - Combinabile con tavole rotanti per applicazioni rotanti - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - In opzione con controllore FMC400/450 Manipolatore XYZ miniaturizzato per applicazioni ad alta precisione o dinamiche Il manipolatore è un sistema a 3 assi altamente dinamico per movimenti X, Y e Z in uno spazio di installazione molto limitato. Si possono realizzare corse fino a 50 mm. Il manipolatore è dotato di motori piezoelettrici e può quindi realizzare incrementi di posizionamento di pochi nanometri per applicazioni di alta precisione in alto vuoto e ultra alto vuoto. Equipaggiato opzionalmente con un nanomotore, è particolarmente adatto per posizionamenti altamente dinamici e di alta precisione. Aree di applicazione Posizionamento di precisione in spazi molto ridotti per applicazioni di laboratorio, microscopia e tecnologia dei semiconduttori, ricerca nel vuoto spinto e sotto radiazioni ultraviolette estreme, preparazione del campione, scansione del campione, manipolazione del campione, regolazione della telecamera, regolazione del sensore, ricerca sui materiali, analisi dei materiali, linea di fascio, acceleratore, sincrotrone, miniaturizzazione