Lo stadio XY con apertura e cuscinetti a rulli incrociati offre alta dinamica e velocità per applicazioni in alto vuoto, ultra alto vuoto e sotto estrema radiazione ultravioletta. Rispetto alle sue dimensioni, permette passi molto piccoli.
Dotato di un motore piezoelettrico, raggiunge i passi più piccoli nella gamma dei nanometri con una stabilità di posizione quasi irraggiungibile. Con un nanomotore, raggiunge una dinamica molto elevata così come alte velocità e ha una durata di vita massima con una precisione nella gamma dei micrometri.
Può essere facilmente combinato con lo stadio di sollevamento MT105, offrendo così molte possibilità di applicazione.
Campi di applicazione
Posizionamento di precisione per applicazioni di laboratorio, microscopia e tecnologia dei semiconduttori, ricerca in ultra alto vuoto e sotto radiazioni ultraviolette estreme, preparazione di campioni, scansione di campioni, manipolazione di campioni, biochip, ispezione di wafer, allineamento di wafer, regolazione di telecamere, ricerca di materiali, analisi di materiali, beamline, acceleratore, sincrotrone
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