La combinazione di sensore piezoelettrico e Pirani nel trasduttore di vuoto analogico VSR offre un'elevata precisione e un'eccellente risoluzione nel campo del vuoto grossolano e fine.
MA4 - Segnale di uscita 4-20 mA
MV - Segnale di uscita 0-10V
Panoramica del trasduttore di vuoto VSR con sensore Piezo/Pirani:
- Sensore combinato Piezo/Pirani con campo di misura esteso a 5,0 x 10-5 mbar
- Elevata precisione sull'intero campo di misura, compreso il vuoto spinto
- Eccellente riproducibilità e affidabilità per processi produttivi stabili
- Misura indipendente dal tipo di gas nel basso vuoto
- Il rapido tempo di risposta fino a 18 ms consente cicli di orologio più brevi
- Rivestimento metallico integrato per la protezione dalla contaminazione
- Adatto a UHV grazie alla cella di misura in acciaio inossidabile sigillata con metallo (tasso di perdita di He <5e-10 mbar l / s)
- Stabilità alla sovrapressione fino a 10 bar
- Visualizzazione ottica dello stato tramite LED
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