Controllore di sistema di vuoto e misuratore di ioni in PVC ● per misuratori di ioni passivi a catodo caldo UHV
La gamma di strumenti comprende controllori per uno o due misuratori di ioni passivi a catodo caldo, nonché vari moduli plug-in per il funzionamento di ulteriori sensori Pirani passivi VSP521/VSP841 o trasduttori di vuoto attivi 0-10V.
La gamma di strumenti comprende controllori per uno o due misuratori passivi di ioni a catodo caldo e vari moduli plug-in per il funzionamento di ulteriori sensori Pirani passivi VSP521/VSP841 o trasduttori di vuoto attivi 0-10V. Sono disponibili anche misuratori di ioni a catodo caldo e accessori come sensori di temperatura a termocoppia per il controllo del bake-out o cavi per misuratori.
Panoramica del misuratore di ioni in PVC e del controllore del sistema del vuoto
- Per 1x supporto per misuratore di ioni UHV (PVCuni) o 2x supporto per misuratore di ioni UHV (PVCduo)
- 2 slot per moduli per l'aggiunta di misuratori Pirani o trasduttori 0-10V attivi
- Funzionamento intuitivo guidato da menu
- Emissione automatica o 11 impostazioni di emissione manuale
- Misura della pressione durante il degasaggio, degasaggio a potenza rampa
- 2 slot per moduli per l'aggiunta di Pirani (VSP52x, VSP84x)
- Controllore di cottura integrato, interbloccato, mulitstep
- 2 timer on/off definibili dall'utente
- Hub di interblocco definibile dall'utente, 7 uscite e 4 ingressi digitali
- Misure visualizzate in unità di pressione o, in alternativa, come corrente di ioni diretta (con correzione delle emissioni) per il monitoraggio del flusso del fascio (BFM)
- Interfacce multi-drop RS232/RS485 come standard con facile concatenamento a margherita
- Controllo completo del computer tramite i protocolli MODBUS binario e QueBUS basato su ASCII
- 2 uscite analogiche 0-10V
Applicazioni
- Tutte le pressioni di sistema HV e UHV e monitoraggio degli interblocchi e controllo di processo
- Monitoraggio del flusso del fascio MBE
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