Sistema ammortizzatore attivo Electro-Damp® II

per l'industria dei semiconduttori

L'elettrotipia-Damp® è il primo sistema attivo commerciale di isolamento antivibrante destinato specificamente per aumentare la capacità di lavorazione, la risoluzione ed il rendimento nelle applicazioni di fabbricazione a semiconduttore. Lo II Elettrotipia-umido è una riprogettazione completa del sistema originale, aggiungente la modularità, il comando digitale, la reazione, gli azionatori alto-spazio/della alto-forza e le interfacce utente digitali multiple specificamente progettate per uso nelle applicazioni dell'OEM quali il microlithography, l'ispezione e gli strumenti della metrologia. Esigenze stanti in conflitto del posto degli strumenti di fabbricazione a semiconduttore nei confronti del loro sistema di isolamento antivibrante. In risposta a rumore del pavimento, il sistema deve essere molle efficacemente filtrare la vibrazione del pavimento dal raggiungimento della superficie isolata. Simultaneamente, il sistema deve essere rigido in risposta alle forze che della fase tale quel moto della fase induce lo spostamento minimo della superficie e delle cassapanche isolate rapidamente. Oltre ad impiegare risposte inerziali e attive che attenuano, reazione Elettrotipia-umida di informazioni di usi II più ulteriormente per migliorare risposta di sistema. Impianti di reazione prendendo informazioni da un regolatore della fase circa la posizione e l'accelerazione della fase, quindi processi che dati per fornire attuazione della forza al carico utile, notevolmente riducente da moto indotto da fase del carico utile. Il sistema può leggere le informazioni di reazione digitalmente, come segnali analogici bipolari, o leggendo l'uscita dei codificatori di quadratura. Il regolatore di DC-2000 Digital può anche regolare automaticamente i parametri richiesti da reazione facendo uso di un modello di prova della fase. Ciò fa la messa a punto sulle installazioni iniziali, o dopo i cambiamenti al carico utile, rapido e facile.