Controllore di posizione 3 assi PEPS® II

digitaleelettronicoad alta prestazione

Il PEPS® II migliora e si basa sul PEPS® (Precision Electronic Positioning System) brevettato da TMC. Con l'aggiunta di un nuovo controllore digitale, PEPS® II è più facile da usare, offre più funzioni e ha un'interfaccia utente migliorata. PEPS® II è un sistema digitale di controllo dell'altezza senza contatto per i sistemi di isolamento pneumatico delle vibrazioni TMC. Tali sistemi incorporano normalmente valvole meccaniche di altezza e un collegamento meccanico di rilevamento dell'altezza. Le sue applicazioni spaziano dalle apparecchiature per la produzione di semiconduttori, per migliorare i tempi di assestamento e aumentare i rendimenti, agli ambienti di laboratorio di precisione che richiedono prestazioni acustiche e stabilità della piattaforma ottimali. Controllo digitale, interfaccia LCD di facile utilizzo -Controllo elettropneumatico dell'altezza senza contatto per i sistemi di isolamento delle vibrazioni Gimbal Piston™, CSP® e MaxDamp® -Ripetibilità della posizione dell'asse Z: 10 micron -Miglioramento dell'isolamento dalle vibrazioni grazie all'eliminazione del contatto della leva dei tradizionali sistemi meccanici di controllo dell'altezza -La funzione di avanzamento pneumatico riduce al minimo la reazione dell'asse Z al movimento dello stadio X-Y -Può essere messa a punto per regolare rapidamente il movimento indotto dagli stadi X-Y -La funzione opzionale "VX" incorpora sensori inerziali per lo smorzamento attivo della risonanza dell'isolatore verticale -Compatibile con "Soft-dock". Permette di caricare/scaricare wafer senza montaggio cinematico -Valvole elettroniche proporzionali. Nessun rumore di impulsi introdotto dalle valvole elettroniche "on-off" o convenzionali -Linea di scarico con tubazione per lo smaltimento pulito dell'aria di scarico -Controllo e stato del bacino logico